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氟化銨是氟化工行業中應用廣泛的一種氟化工產品,氟化銨是無色葉狀或針狀結晶,在空氣中易潮解,易溶于水,水溶液呈酸性,受熱分解放出有毒的腐蝕性煙氣。氟化銨的主要用途有:冶金土業用作提取稀有金屬;玻璃工業用作蝕刻劑;釀造工業用作啤酒消毒的細菌抑制劑;機械工業用作金屬表面化學拋光劑;木材工業用作腐蝕劑;化學分析中用作離子檢測的掩蔽劑、含量的點滴試劑、結合滴定鋁的沉淀劑;用于配置滴定液來測定銅合金中鉛、銅、鋅成分,鐵礦石和煤焦油。
氟化銨的生產工藝可分為氣相法和液相法兩種方法。氣相法合成氟化銨由于工藝過程不接觸水,產品含水量低、純度高、顆粒粒度細,能滿足電子行業和醫藥行業的要求,但氣相法生產氟化銨對工藝要求很高的密封性,對設備要求很高,而且投資很大。液相法由于設備簡單,工藝條件及設備操作易于控制得到廣泛應用,目前國內普遍采用液相法制備氟化銨。但液相法制備的氟化氫銨含水量高、純度低、長期儲藏會出現吸潮結塊等現象,不能適應要求較高的電子工業、醫藥工業等行業的需要。通常僅能達到工業級要求。
CN200910102715.7提供一種產品純度高、生產成本低 且能滿足較高要求的高純氟化銨的制備方法。包括以下步驟:
(1)向質量濃度8-50%氟化銨溶液中加入氨水或液氨除去原料中的氟硅酸銨雜質,氨水或液氨的添加量為理論量的120-200%,反應10-60min, 氟化銨溶液中的氟硅酸銨經氨水或液氨氨化后化生成二氧化硅沉淀;
(2)向上述步驟(1)處理后的氟化銨溶液中加入氫氧化鋇除去硫酸鹽雜質,為了不引入鋇鹽雜質,氫氧化鋇的加入量為理論量90-99%,氫氧化鋇使氟化銨溶液中的硫酸鹽生成硫酸鋇沉淀,同時氫氧化鋇也可以與步驟(1)中未脫除干凈的氟硅酸鹽反應生成不溶于水的六氟硅酸鋇沉淀,反應10-60min,過濾經過處理后的氟化銨溶液,分離出其中的二氧化硅、硫 酸鋇和六氟硅酸鋇沉淀,濾液為氟化銨溶液;
(3)將濾液在真空度為-0.092--0.030Mpa,溫度為25-106℃下,加熱濃縮36-65min,待溶液突然析晶后停止加熱;
(4)將析晶后的氟化銨溶液轉移到結晶器中,結晶溫度控制在-10-25℃,結晶結束后對氟化銨進行固液分離,分離出氟化銨濾液,得到的氟化銨晶體在60-95℃之間下進行干燥處理,經干燥處理后,即得到高純氟化銨產品。
用于制備一種非離子型低表面張力的酸性氟化銨蝕刻液TFT 基板上設置有大量的薄膜、薄層,所以為了防止這些之間發生不希望的電短路,優選將蝕刻后的基板的切斷側面即蝕刻輪廓 (profile) 均等地傾斜,且下方比上方寬,為鈍錐 (taper) 形狀。這是由于蝕刻輪廓為鈍錐形狀的情況下,所形成的 2 個以上的薄膜層之間的高度差會減少。蝕刻方法具有利用氣體的干式蝕刻和利用蝕刻液的濕式蝕刻,盡管濕式蝕刻具有缺點,但是其工序所需的設備投資費用低,無需將蝕刻環境維持在高真空狀態,對掩模和基板均有優異的蝕刻選擇性。主要成分為氫氟酸(HF)和氟化銨(NH4F)的酸性氟化銨蝕刻液又稱為B.O.E. (Buffered Oxide Etch)蝕刻液,在半導體工業中也常廣泛使用于蝕刻無光刻膠護罩的氧化層。